ASML と Imec、フェルトホーフェンに High NA EUV リソグラフィ試験ラボを開設

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ASML は、ベルギーのチップ研究企業 Imec と共同で、高開口数（High NA）極端紫外線（EUV）リソグラフィ装置の試験ラボを開設した。High NA ツールは最大 60%の解像度向上を約束し、より小型で高速なチップの生産を可能にする見込みだ。この展開は、半導体技術の進歩における ASML の中心的な役割と、世界中の主要チップメーカーとの継続的なパートナーシップを強調している。BTW の見解 ASML は十数台のツールの受注を抱えているが、EUV 装置の最大顧客である TSMC は、A16 チップに High NA ツールを使用する必要はないと表明した。これを踏まえ、この新しいチップが有望な未来を持つとは思えない。– BTW ジャーナリスト、Jinny Xu 半導体製造装置メーカーの ASML は月曜日、ベルギーのチップ研究企業 Imec と共同開発した High NA EUV リソグラフィ装置の新しい試験ラボの開設を発表した。オランダのフェルトホーフェンに位置するこのラボは、数年がかりの成果であり、チップ製造技術の最高水準を示すものだ。チップメーカーにとって新たな機会この最先端ラボは、主要なチップメーカーや装置・材料サプライヤーに、ASML の 3 億 5,000 万ユーロ（3 億 8,000 万ドル）の画期的な High NA EUV リソグラフィツールを試す機会を提供する。この種のツールとしては初めてで、従来モデルより最大

60%高い解像度を実現し、次世代向けのより小型で高速なチップの生産を可能にする見込みだ。関連記事: AWS、NVIDIA の先端チップ注文はキャンセルされていないと明言関連記事: Christophe Fouquet とは？

ASML の CEO 高度な機能新しい High NA ツールは、2025 年から 2026 年の間に商業生産に入る予定だ。これまでに ASML が納入したテスト機は 1 台のみで、米国の Intel 向けだった。Intel は 2025 年までにこのツールを 14A プロセスに統合する計画である。それにもかかわらず、ASML はすでに十数台のこの先進的なマシンの注文を受けている。市場のリーダーシップ ASML は、チップ上の回路を描くために光線を使用するチップ製造プロセスの重要な工程であるリソグラフィ装置市場を支配している。現在、TSMC、Samsung、Intel、そしてメモリ専業の SK Hynix と Samsung という限られたメーカーだけが、ASML の既存の EUV マシンを使用できる。ASML はこれらの先進的なマシンを十数台受注しているが、最大の顧客である TSMC は、2025 年に生産開始予定の A16 チップには High NA ツールは不要だと表明している。